冷鏡露點儀的測量精度可達±0.1℃露點溫度，遠超其他類型露點儀(如電容式、電阻式)。這種精度源于直接觀測相變過程，避免了間接推算的誤差，尤其適用于實驗室標定、半導體制造等對濕度敏感的領域；其量程可覆蓋-100℃至+20℃露點溫度(取決于制冷方式)，且通過恒溫控制和光學檢測的結合，可實現“零”漂移和高重復性測量。例如，在鋼鐵冶煉中，可準確監測惰性氣體的干燥度，防止氧化反應。
冷鏡露點儀對氣體成分依賴性低，即使面對腐蝕性氣體或復雜混合氣體，僅需鏡面材料耐腐蝕即可正常工作。此外，其光學檢測方式不受電磁干擾影響，適用于電力設備監測等強磁場環境；采用動態制冷技術，響應時間縮短至秒級(如光電式型號)，同時因無耗材損耗，長期穩定性優于電解式或陶瓷濾波器類儀器。
冷鏡露點儀的測定步驟：
1.準備工作：
-儀器檢查：檢查外觀是否完好，各連接部位是否牢固，電源線、信號線等是否正常。同時，確保儀器的冷卻系統、光學檢測系統等部件工作正常。
-樣氣準備：采集具有代表性的樣氣，確保樣氣清潔、干燥，避免混入雜質或液態水。若樣氣中含有雜質或污染物，可能會影響測量結果的準確性，甚至損壞儀器。
-環境條件控制：將儀器放置在溫度穩定、濕度適宜的環境中，避免外界環境因素對測量結果產生干擾。一般要求環境溫度變化較小，且無強烈的氣流、震動等影響。
2.測量操作：
-開啟儀器：接通電源，打開電源開關，按照儀器的操作手冊進行初始化設置和預熱。預熱時間根據儀器型號和說明書要求而定，一般為幾分鐘到十幾分鐘不等。
-調節冷卻溫度：通過儀器的控制面板或軟件界面，逐步降低冷鏡的溫度。降溫速度不宜過快，以免錯過露點溫度的準確判斷。同時，密切觀察冷鏡表面的狀態變化。
-觀察露點形成：當冷鏡溫度降低到接近樣氣的露點溫度時，樣氣中的水蒸氣會在冷鏡表面開始凝結，形成微小的露珠或冰晶。此時，注意觀察冷鏡表面的光學變化，如光澤度的改變、反射光的變化等。
-確定露點溫度：利用儀器自帶的光學檢測系統(如光電傳感器)或人工觀察的方式，準確判斷露點形成的瞬間。當檢測到露點出現時，儀器會自動記錄或顯示當前的冷鏡溫度，該溫度即為樣氣的露點溫度。
3.測量結束：
-關閉儀器：測量完成后，先關閉樣氣進氣閥門，停止樣氣的通入。然后，按照儀器的操作規程，關閉儀器的電源開關，拔掉電源線。
-數據處理與記錄：將儀器顯示的露點溫度數據記錄下來，并根據需要進行單位換算、數據分析等處理。同時，對測量過程中的相關參數(如環境溫度、樣氣流量等)也應一并記錄，以便后續查閱和分析。
